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机械表面是使用理想测头针尖和形态过滤功能扫描工件表面而生成的轮廓。

探针方法是一种使用进给驱动机制在表面上水平移动测头系统来记录其二维尺寸的测量方法。
(DIN EN ISO 3274)

完整轮廓是使用接触式测量方法记录的机械表面的轮廓。此轮廓的最重要形状偏差是：线形偏差、波纹度和粗糙度。(DIN EN ISO 3274)

参数是使用评定长度 le 计算，但不包括采用分段长度 lsc（例如 Rz、Rp、Rv）定义的参数。

行程长度 lt 是测头系统为记录所扫描轮廓而行程的总距离。它是预行程、评定长度 le 和过行程之和。

嵌套索引 Nic（之前称为“截止波长”）参见“轮廓滤波器”。

评定长度 le 是待评定穿越行程长度的一部分。

分段长度 lsc（之前称为“采样长度”）是评定长度的一部分。Rz、Rp 和 Rv 等参数在多个连续的轮廓分段长度 lsc 上评估。

分段数 nsc 指用于评估参数 Rz、Rp 和 Rv 的分段数；通常使用五个分段。

预行程长度用于滤波器的瞬态效应。

过行程长度用于滤波器的衰减效应。